دانستنی های علمی
علم و دانشدانستنی های علمی
علم و دانشفروشگاه اینترنتی دانسیته خرید روغن شترمرغ هسته Ni روی سطح Si و دمای لایه نشانی
فروشگاه اینترنتی دانسیته خرید روغن شترمرغ هسته Ni روی سطح Si و دمای لایه نشانی
فروشگاه اینترنتی رابطه بین دانسیته هسته Ni روی سطح Si و دمای لایه نشانی در شکل 2-11 نشان
داده شده است. تعداد خرید روغن شترمرغ هسته‌ها (دانسیته جوانه‌زنی) با افزایش دمای لایه نشانی
فروشگاه اینترنتی افزایش می‌یابند. این موضوع نشان می‌دهد که واکنش های شیمیایی که در لایه‌نشانی
شرکت می‌کنند،"خرید روغن شترمرغ" در اصل واکنش‌های سطحی هستند و واکنش‌های شیمیایی سطحی
خرید روغن شترمرغ برای SiO_2 و Si در این فروشگاه اینترنتی سیستم متفاوت است
شکل 2- 11رابطه بین خرید روغن شترمرغ دانسیته جوانه‌زنی روی سطح Si و دمای لایه‌نشانی ]9[.
خرید روغن شترمرغ مشخصه یابی لایه‌های فروشگاه اینترنتی رشد یافته در روی زیرلایه شیار
تصاویر SEM مقطع عرضی لایه‌های لایه نشانی خرید روغن شترمرغ شده روی زیرلایه‌های شیار،
که یک سطح SiO_2 دارد در شکل 2-12 نشان فروشگاه اینترنتی داده شده است.موقعی که
فشار خرید روغن شترمرغ لایه‌نشانی kPa 10 است فروشگاه اینترنتی، ضخامت لایه روی سطح زیرلایه و شخامت
لایه خرید روغن شترمرغ در کف شیار تقریبا یکی است و یک لابه یکنواخت لایه‌نشانی شده است.
فروشگاه اینترنتی این نتیجه پیشنهاد می کند که واکنش‌گرهایی که در لایه‌نشانی شرکت می‌کنند
بطور جزیی روی سطح فعال خرید روغن شترمرغ هستند و در کف می‌توانند نفوذ کنند. رشد با واکنش‌های
شیمیایی روی سطح کنترل خرید روغن شترمرغ می‌شود. با افزایش فشار لایه‌نشانی، ضخامت لایه روی سطح
زیرلایه در مقایسه با کف خرید روغن شترمرغ شیار ضخیم‌تر می‌شود. این بدان معنی است که واسطه‌های فعال
فروشگاه اینترنتی زیادی وجود دارد که بطور موثردر رشد لایه مشارکت می‌کنند و غلظت آن‌ها در نفوذ از سطح
باز به داخل خرید روغن شترمرغ شیار به سرعت کاهش می‌یابد. با افزایش فشار لایه نشانی مورفولوژی سطح
خرید روغن شترمرغ زبر می‌شود( شکل2-12) -3-4- فرآیند فروشگاه اینترنتی تعیین کننده سرعت
با افزایش دمای لایه‌نشانی مورفولوژی سطح زبر شده فروشگاه اینترنتی و رشد دندریتی در ℃ 400 اتفاق
می‌افتد( شکل 2-13) خرید روغن شترمرغ . رشد کریستال دندریتی فروشگاه اینترنتی با تامین عوامل رشد کنترل می‌شود.
لذا این نتایج با این فرض توضیح داده می‌شوند فروشگاه اینترنتی که واکنش‌گرهای فعال که دارای ضریب
چسبندگی خرید روغن شترمرغ بزرگ هستند، با تجزیه پیش‌ماده نیکل در فاز گاز تولید می شوند و غلظت
آن‌ها با افزایش دمای لایه‌نشانی و فشار لایه‌نشانی افزایش می‌یابد. پس روی زیرلایه
فرآیند تعیین کننده سرعت با افزایش دمای لایه‌نشانی و/یا فشار لایه‌نشانی از واکنش
سطحی "فروشگاه اینترنتی" تا نفوذ واسطه‌ها به سطح تغییر می‌کند ]9[.
شکل2-12 تصاویر SEM مقطع عرضی لایه‌های لایه نشانی شده روی زیرلایه‌های شیار
فروشگاه اینترنتی در فشار عمل کننده
از سوی دیگر روی زیرلایه Si، واکنش لایه نشانی بطور غیر وابسته از دما یا فشار لایه‌نشانی
فرو می‌نشیند و هیچ لایه‌ای روی سطح Si فروشگاه اینترنتی بدست نمی‌آید. واسطه‌های فعال که توسط
تجزیه خرید روغن شترمرغ پیش‌ماده تولید می‌شود، نقش مهمی در رشد Ni روی سطح Si ایفا نمی‌کنند.
سطح Si ممکن است با H یا Cp در طول فرآیند CVD پوشیده شود و بطور زیادی واکنش‌پذیر
می‌شوند حتی به جاذب‌های سطحی که دارای ضریب چسبندگی آن‌ها روی سطح SiO_2 بزرگ
می‌باشند. این ممکن "خرید روغن شترمرغ" است دلیل آن باشد که لایه نیکل پیوسته نمی‌تواند روی زیرلایه Si رشد
یابند. اما اگر فلز نیکل در فاز گازی از واکنش‌های فروشگاه اینترنتی شیمبایی تولید شده باشد، نیکل می‌تواند
حتی روی سطح Si رشد کند. موقعی که دمای زیرلایه افزایش می‌یابد تعداد هسته‌های نیکل
تولید شده در فاز گازی ممکن است افزایش یابد و همان‌گونه تعداد هسته‌ها روی سطح Si
افزایش فروشگاه اینترنتی خرید روغن شترمرغ می‌یابد شکل 2-13 تصویر SEM سطح لایه لایه‌نشانی شده در ℃400